100K以上で流量を極限まで絞って内圧を上げた。何とか50mbくらいまで到達。十数mbではスパークしてしまうので。
ところが外側の筐体の温度が振動して止まらない。ガスがちょろちょろ流れているのでPIDがうまく働かないのだろう。冷えて、ヒーターが効いて、上がり過ぎて、ヒーターを弱めながら戻る、その最後のプロセスでいつも積分を使い果たしてしまう。
そこで、I＝30secとこれまで使ったことのない長さにして、さらに「冷えつつあるならばたとえ設定温度よりも上でも積分を減らさない」ために、−Ｄを少し入れた。何とか止まってくれた。止まる前でも、±１Ｋ程度の振動だったので内側筐体の制御で何とか持ちこたえてはいたのだが、、、。
〔メモ〕外側5W、PID＝0.3/30/3、P〜50mb、流量はポンプ側ニードルを絞ってわずか。
