100K以上で流量を極限まで絞って内圧を上げた。何とか50mbくらいまで到達。十数mbではスパークしてしまうので。 ところが外側の筐体の温度が振動して止まらない。ガスがちょろちょろ流れているのでPIDがうまく働かないのだろう。冷えて、ヒーターが効いて、…
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